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HORIBA SEC-N100系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用。該控制器可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。

HORIBA 質(zhì)量流量控制器全系列涵蓋氣體質(zhì)量流量控制器、壓力不敏感型質(zhì)量流量控制器、通用型質(zhì)量流量控制器及液體質(zhì)量流量計/控制器，主要包括 SEC-Z500X、SEC-N100、SEC-Z700X、SEC-E 和 LF-F/LV-F 等系列。

HORIBA GR-314/314F 壓力控制器 是面向 DeviceNet 通信架構(gòu) 的晶圓背面冷卻壓力控制產(chǎn)品，適用于靜電吸盤系統(tǒng)中的背冷氣體壓力調(diào)節(jié)。

HORIBA GR-312/312F 背冷壓力控制器 屬于 GR-300 系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)，主要用于靜電吸盤固定晶圓時的背面冷卻氣體壓力控制。

HORIBA GR-300系列晶圓背面冷卻系統(tǒng) 壓力控制器是一款面向半導(dǎo)體制造工藝的氣體壓力控制產(chǎn)品，主要用于靜電吸盤固定晶圓時的背面冷卻氣體控制。

HORIBA S48-BM211 質(zhì)量流量控制器是一款面向?qū)嶒炇?、分析儀器配套及工業(yè)設(shè)備集成應(yīng)用的通用型氣體質(zhì)量流量控制器。該產(chǎn)品采用金屬密封結(jié)構(gòu)，接氣材質(zhì)為 SUS316L、PTFE 和磁性不銹鋼，具備較低的外部漏率，可滿足多種氣體流量精密控制需求。