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HORIBA GR-314/314F 壓力控制器 是面向 DeviceNet 通信架構(gòu) 的晶圓背面冷卻壓力控制產(chǎn)品，適用于靜電吸盤系統(tǒng)中的背冷氣體壓力調(diào)節(jié)。

HORIBA GR-312/312F 背冷壓力控制器 屬于 GR-300 系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)，主要用于靜電吸盤固定晶圓時(shí)的背面冷卻氣體壓力控制。

HORIBA GR-300系列晶圓背面冷卻系統(tǒng) 壓力控制器是一款面向半導(dǎo)體制造工藝的氣體壓力控制產(chǎn)品，主要用于靜電吸盤固定晶圓時(shí)的背面冷卻氣體控制。

HORIBA GR-511F 是一款專為半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計(jì)的晶圓背面冷卻系統(tǒng) 壓力控制器，主要用于在靜電吸盤（ESC）環(huán)境中控制氦氣或氬氣的背面壓力與流量，以保持晶圓背面的溫度均勻性與熱交換效率。